반도체 산업 현장에서 검증된 링크제니시스의 SECS/GEM 사용

  Multi Channel 연결

  산업용 PC 사용

XBridge BOX는 장비/설비 데이터를 SECS/GEM 프로토콜을 통해 FDC 서버와 가장 빠르고 쉽게 연동시켜주는 HW 일체형 솔루션입니다.

1) HW 일체형 솔루션

• 2가지 모델의 HW 구성
• 현장 상화에 맞추어 적용 및 Connection 추가 가능
  - ARK-2251 모델: 최대 20 Connections
  - ACP-610MB 모델: 최대 100 Connections

2) SEMI 표준 최신화

• E30 Revision 0324, E39 OSS, E119 EPT 표준 규격 추가
• SEMI E30 GEM (Revision 0324)
  - 대용량 데이터 전송을 위한 Large Recipe 전송 기능 지원(S21 계열)
  - Documentation 파일 및 SEDD 파일 전송 기능
• SEMI E39 OSS (Object Services Standard)
  - 반도체 제조 장비와 호스트 시스템 간 통신을 위한 OSS 규격 추가
• SEMI E116 EPT (Equipment Performance Tracking)
  - 메이저 팹(Fab)의 장비 성능 데이터 활용 확대 강화 추세에 따른 EPT 규격 추가

3) 고도화된 SW 적용

• 64비트 프로세스 및 인터페이스 지원

4) 실시간 모니터링

• 시스템 성능 및 SV 상태의 실시간 모니터링

5) 분산 인터페이스 확장

• 다수의 서브시스템(PLC, 센서 등)과 직접 연결을 통해 GEM 서비스 가능
• 각 장비의 서브시스템 간 GEM 통신을 위한 분산 인터페이스 제공
• 장비 내 서브시스템들의 데이터 통합 용이

6) 도구의 기능 및 편의성 강화

• 통합 Configuration Tool
  - GEM 관련 모든 프로젝트 생성/편집 통합 도구
  - XGem 관리 정보의 손쉬운 등록 및 환경설정
• Log Viewer
  - 바이너리 데이터 기반 로그 용량 최소화
  - 로그 분석 시 사용자 편의 기능
• Host Simulator
  - SECS-II Message 편집/송수신 - 시나리오 작성 및 실행 기능